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- 1、橢偏儀是測什么的
橢偏儀是測什么的
1、半導體芯片制造中常用的薄膜厚度測量方法主要有三種：四探針法、橢偏儀和X射線熒光光譜法。四探針法：原理：采用四個等距探針接觸樣品，通過外部探針提供電流，內部探針測量電壓降，從而計算出薄膜方塊電阻率，再通過特定公式反推出薄膜厚度。適用范圍：此方法適用于測量不透明導電膜的厚度。
2、反射式膜厚測量儀：一般是利用白光干涉的原理，通過測量光波經樣品反射后幅值（或者說光強）的變化來獲得膜層的厚度d、折射率n和消光系數k信息。二者適用范圍不同：橢偏儀適合：厚度為0.1nm到幾微米的薄膜測量，其厚度測量精度可達到原子層量級，即0.1nm以下。
3、利用橢偏儀測量薄膜厚度與折射率時，對角度的要求主要基于光學原理及儀器特性的限制。首先，橢偏儀的工作原理是通過測量光在不同角度入射時薄膜上產生的偏振光變化，從而計算出薄膜的光學性質，包括厚度和折射率。對于薄膜厚度的測量，橢偏儀能夠提供一定的準確性，但納米級薄膜的測量存在一定的挑戰。
4、橢偏儀測薄膜厚度的基本原理如下：橢偏儀通過使用一系列的偏振器和相位板，改變入射光的偏振態，如線偏振或橢圓偏振，在通過薄膜后，根據薄膜對入射光偏振態的影響，可得到反射光和透射光的偏振態。
5、四探針法是一種測量薄膜方塊電阻率的技術。此方法采用四個等距探針接觸樣品，兩個外部探針提供電流，兩個內部探針測量電壓降，從而計算出薄膜方塊電阻率。通過特定公式反推，即可得到薄膜厚度。此方法適用于測量不透明導電膜的厚度。橢偏儀是一種非接觸、非破壞性光學測量技術。
6、四探針法，又稱四點共線探針法，是一種用于測量薄膜方塊電阻率的技術。通過四點共線探針，可以獲取材料的方塊電阻率。根據方塊電阻率和測量的電壓、電流數據，通過特定公式反推，能計算出薄膜厚度。這種方法主要用于測量不透明導電膜的厚度。
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